本发明为一种溅镀靶材的制造方法,主要包括下列步骤:
1.球磨:将铟锡氧化物粉末加入助烧结剂,粘结剂与制造工艺添加剂,以湿式球磨方式予以混合及研磨;
2.干燥造粒:将上述研磨,混合后的物品干燥造粒,得铟锡氧化物成型前粉末;
3.成型:利用成型机将粉末成型为初胚;
4.强化:以冷均压机将初胚强化;
5.脱蜡:将初胚放入高温炉,以将制造工艺添加剂烧除而得烧结前胚体;铝靶
6.烧结:将脱蜡后的胚体置入气氛炉中,并于炉中注入欲使用的气体,且令炉内的气体压力保持在1.1～1.9大气压之间进行烧结;藉上述步骤,即可得高密度的铟锡氧化物溅镀靶材.
